세라믹 제품

pBN 히터 및 정전기 척

고온 반도체 공정용

pBN 히터 및 척(ESC)

pBN/PG 히터는 초고진공하에 1700°C 이상에서 우수한 열 균일성(웨이퍼에서 2°C)을 구현 할수 있습니다. 깨지지 않는 내화 소재로서, 이 소재는 대부분의 부식성 가스 및 액체에 대한 화학적 불활성을 부여하고 대부분의 용융 금속과 반응하지 않게 해주는 고온화학기상증착법 코팅 적용으로 순도가 매우 높습니다. Momentive Technologies는 고온(최대 1000°C) 웨이퍼 처리 요건에 맞춰 히터 척(ESC)을 맞춤 설계할 수 있습니다.

고온에서의 웨이퍼 취급은 까다로울 수 있습니다. 열분해 질화 붕소 정전기 척(pBN ESC)은 1000°C 이상의 온도에서 웨이퍼를 보관할 수 있어 시장에서 가장 다재다능한 ESC입니다. 고밀도 멀티존 발열체 덕분에 웨이퍼를 매우 엄격한 온도 범위 내에서 유지할 수 있습니다. 열충격 저항성이 높은 pBN ESC는 급격한 온도 변화에 노출되어도 기계적으로 견고합니다.

모멘티브 테크놀로지스 열분해 질화 붕소 정전기 척은 0~1000°C의 시중에서 가장 넓은 온도 범위에서 초고속 J-R 척킹을 제공합니다.
히터에 선택된 소재는 열충격에 강하고 열 질량이 매우 낮아 분당 100°C의 램프 속도를 제공합니다.
pBN은 완전 고밀도 재료로 초고진공에 적합합니다.

주요 특성

^50와트/cm2 이상의 전력 밀도
최대 ^100g/cm2의 척력
최대 직경 Ø320mm(12.6″)
고밀도 발열체는 표면적을 최대 95%까지 커버합니다.
최대 온도 제어를 위한 고도로 사용자 정의 가능한 다중 구역 난방 및 ESC 기능

표준 기능 기능

모멘티브 테크놀로지스 pBN ESC 모듈은 가장 복잡한 제어 체계도 처리할 수 있도록 장착할 수 있습니다. 다중 구역 가열, 다중 구역 척킹, 백사이드 가스, 포커싱 링 및 메사 등은 맞춤형 설계에 통합할 수 있는 기능 중 일부에 불과합니다.

모멘티브 테크놀로지스의 pBN 히터와 ESC는 동급 최고의 온도 균일성을 자랑합니다. ESC는 고유한 다단계 CVD 공정을 통해 제조됩니다. 이 프로세스를 통해 고유한 환경에 맞게 높은 발열체 밀도와 복잡한 발열체 레이아웃을 맞춤화할 수 있습니다.

제조 및 지원

고밀도 발열체로 뛰어난 열 균일성 제공
모듈은 각 고객의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 지정됩니다.
애플리케이션 개발 엔지니어 팀은 열 및 유체 모델링의 조합을 활용하여 고객과 협력하여 고객의 환경에 정확히 일치하도록 모듈이 최고의 성능을 발휘하도록 보장합니다.

사내 기능

테스트 기능
시뮬레이션
디자인

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