크루시블
석영 유리 도가니
단결정 실리콘 제조용
반도체 소자의 재료인 단결정 실리콘을 제조하는 석영 유리 도가니는 반도체 소자의 원재료와 직접 접촉하기 때문에 가혹한 조건에 노출됩니다. 저희 도가니는 순도와 내구성이 상당히 높습니다. 또한 장시간 사용해도 블로우홀이 부풀어 오르지 않는 우수한 특성을 가지고 있습니다.
주요 특성
- 크기, 순도, 기포 함량 및 코팅까지 맞춤형으로 고객의 필요에 적합하게 제작 가능
- 전 세계 자회사 및 계열사를 통하여 신속하고 세심한 현지 지원 강화
- 직경 14~36 인치로 다양한 핫 존(Hot zone) 설계
주요 사용자
- 세계 최고의 실리콘 웨이퍼 제조업체
제품 등급
| 등급 | 설명 |
|---|---|
|
530-595 |
천연 모래 등급 – MT 독일, MT 중국 |
|
541 |
합성 실리카 내부 표면 – MT 독일 |
|
T240 |
합성 실리카 내부 표면 – MT 야마가타 |
크루시블 단면도
표준 규격
| 크기 | OD | W1 | W2 | W3 | R1 | R2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
14″ |
363 ± 3 |
8 ± 3 |
8 ± 3 |
8 ± 3 |
381 |
90 |
|
16″ |
404 ± 3 |
9 ± 3 |
9 ± 3 |
9 ± 3 |
406 |
90 |
|
18″ |
457 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
457 |
90 |
|
20″ |
507 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
507 |
100 |
|
22″ |
556 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
558 |
110 |
|
24″ |
607 ± 3 |
12 ± 3 |
15 ± 3 |
12 ± 3 |
610 |
120 |
|
28″ |
708 ± 4 |
13 ± 4 |
15 ± 4 |
13 ± 4 |
708 |
140 |
|
32″ |
809 ± 4 |
14 ± 5 |
23 ± 5 |
15 ± 5 |
810 |
160 |
|
36″ |
909 ± 5 |
17 ± 4 |
28 ± 5 |
17 ± 4 |
910 |
180 |
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